谢凯赶紧把备用的递给他。
老头测量后，从整齐排列的锉刀中找出了一把比笔芯粗不了多少的圆形锉刀，开始轻轻地错零件中间的孔。
一边错，一边测量。
“把跟这个装配的07号、13号零件拆下来。”老头一边锉，一边对着旁边装配的技术人员说道。
在今天早上他们最后一次装配的时候，把所有需要更换的零部件给编了号。
零件很快被拆卸下来，老头把几个孔一边测量一边修后，开始配合上面原来的零件进行更小心的修理。
仅仅几个孔，就用了一个多小时的时间。
随后，老头把零件装配上，取下，再装配上，取下。
每一次重复的过程，都会用不同锉刀甚至砂纸修理已经变得光滑的孔。
一直到最后不再修理孔的时候，才开始用大一些的平锉修理外形。
一边锉，一边测量，随后开始用粗砂纸磨外形。
铣刀加工零件留下的刀痕，在锉刀的作用下，开始消失，随后不同的砂纸让表面更加光滑。
小零件是光刻机对准系统中一个非常关键的零件。
这个小零件是带动显微镜调焦使用的关键。
光刻机调焦机构移动轴带动着不停地进行细微移动，表面粗糙度达不到要求，会造成摩擦，从而形成位移误差，这个误差将会是好几个0.01毫米。
而这玩意儿的制造工艺精度是1微米，也就是0.001毫米！
正在修理的这台光刻机，这东西不仅变形了，同时也磨损了。
显微镜什么的都是好的。
只要解决了对焦系统的精度问题，确保工作台的移动精度能达到，再把其他的一些非核心关键的电子部件更换，就能使用。
光刻机最重要的就是动作台部分，相当于芯片电路母版的样片在生产过程中装在光刻机上面，只要不出问题，就不会更换，不断地通过物理方法或化学方法把样片上的电路图复制到硅基片上。
其实就相当于胶卷底片，可以不断地洗出同样的照片。
掩膜版能否在规定的位置，决定了芯片所有电路的位置。