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第二十一章 真空镀膜(下)(2 / 5)

从1.0E5,迅速变为3.2E4,然后是8.9E3,直至1E3帕左右,下降速度才开始变慢。

过了两分钟左右,压强终于降至20帕以下,许秋关闭超真空挡板阀,打开分子泵。

分子泵的转速要从0逐渐加速至27000r.p.m.后,它才可以正常工作,约需要耗时10分钟。

待分子泵运转平稳后,许秋打开束源炉挡板,然后启动束源炉的升温控制装置。

装置的屏幕上显示有束源炉当前温度和设定温度,分别为27和30摄氏度。

他打开设定界面。

这块屏幕采用的是计算器上那种“日”字型的显示方法,主要用于数字显示,所以显示出来的字母都很抽象。

还好都是常用的单词,许秋花了点时间弄明白每个参数的意义后,手动设定升温程序:

SP130

RATE30

TIME60

SP2400

RATE30

TIME3

SP3520

RATE20

TIME100

第一阶段,以30摄氏度每分钟的速率升至30摄氏度,等待60分钟;

第二阶段,以30摄氏度每分钟的速率升至400摄氏度,等待3分钟;

第三阶段,以20摄氏度每分钟的速率升至520摄氏度,等待100分钟。

确认无误后,他长按启动键,启动程序。

升温程序需要跑一个多小时。

在此期间,许秋向学姐请教了真空系统的工作原理。

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